脉冲激光外延制备系统

凭借着优异的性能,PVD公司生产的脉冲激光沉积分子束外延系统在国内外拥有较多用户，为众多老师开启薄膜外延制备的新篇章。

PVD公司是美国主要制造商，是一家专业从事脉冲激光沉积分子束外延（PLDMBE）和超高真空薄膜沉积系统及组件的设计和制造的公司，提供超高真空薄膜沉积系统，应用于分子束外延、UHV溅射和脉冲激光沉积。产品主要集中在小型研究开发系统，其应用主要包括：

用分子束外延进行半导体材料、ZnO、GaN、SiGe和金属/氧化物外延生长；

UHV磁控溅射磁性薄膜；

脉冲激光沉积超导薄膜、氧化物和陶瓷材料。

脉冲激光外延制备系统主要配置：

主腔室，样品传输腔，1100度加热系统，样品旋转，PLD靶材操控器及光路，K-cell热蒸发源，电子束蒸发源，射频RF离子源。

应用主要包括：

分子束外延系统（MBE）；

GaAs、InP和GaSb外延；

HgCdTe外延；

GaN、InN和AlN外延；

Ⅱ-Ⅵ族外延；

SiGe外延；

Si/金属/氧化物外延；

超高真空物理气相沉积（PVD）系统；

磁控溅射系统；

脉冲激光沉积（PLD）系统；

电子束蒸发系统；

离子束沉积系统；

热蒸发系统。

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