产品描述
PK3L100-200UA紧凑型线性纳米定位台，沿XYZ方向可提供200μmx200μmx80μm行程的运动。压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电纳扫描内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电纳米台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性。
PK3L100-200UA由两个X轴堆叠为XY配置。由于FEA的优化这款平台提供了最高的动态性能和出色的导向精度。即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。具有更高的稳定性能，本系列系列专为半导体，激光和光学以及测试与测量领域中的纳米定位任务而设计
我们压电平台优化了出色的温度补偿特性。固态挠性铰链的精密整体式导向设计意味着该轨迹没有机械间隙和摩擦力，我们所有压电平台和纳米定位器均具有这一功能。
产品特性
—XYZ位移：200x200x80μm（闭环）
—中孔尺寸：Ø40mm
—最大承载能力：0.5Kg
—叠加结构设计
—高精度柔性导向
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制中心孔径大小
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵

结构原理                                              堆叠形式                                             典型应用

PK3L100-200UA系列技术参数