美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列_仪器仪表网_货源市集

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 霍尔离子源 eH 系列属于宽束型离子源, 散射角度>45°.

霍尔离子源气体流量可选 2-25sccm/ 2-50sccm/ 2-50sccm/ 2-75sccm/ 5-100sccm 等不同级别.

霍尔离子源电流可选 5A/ 10A/ 12A/ 15A/ 20A 等.

霍尔离子源高浓度提高镀膜沉积速率, 低动能减少离子轰击损伤表面, 宽束设计有效提高吞吐量和覆盖沉积区.

整体易操作, 易维护. 霍尔离子源 eH 提供一套完整的方案包含离子源, 电子中和器, 电源供应器, 流量控制器 MFC 等等.

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列产品特性:

1.无栅极

2.高电流低能量

3.发散光束 >45°

4.可快速更换阳极模块

5.可选 Cathode / Neutralize 中和器

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列在售型号及技术参数:

portant;"> 离子源型号	portant;"> 霍尔离子源 eH200(停产)	portant;"> 霍尔离子源 eH400 eH400LE	portant;"> 霍尔离子源 eH1000 eH1000LE eH1000LO	portant;"> 霍尔离子源 eH1000xO2	portant;"> 霍尔离子源 eH2000 eH2000LE eH2000HO	portant;"> 霍尔离子源 eH3000 eH3000LO eH3000MO
portant;"> Cathode/Neutralizer	portant;"> F or HC	portant;"> F or HC	portant;"> F or HC	portant;"> F or HC	portant;"> F or HC HC HC	portant;"> HC
portant;"> 电压	portant;"> 30-300V	portant;"> 50-300V 30-150V	portant;"> 50-300V 30-150V 50-300V	portant;"> 100-300V	portant;"> 50-300V 30-150V 50-250V	portant;"> 50-250V 50-300V 50-250V
portant;"> 电流	portant;"> 2A	portant;"> 5A 10A	portant;"> 10A 12A 5A	portant;"> 10A	portant;"> 10A 15A 15A	portant;"> 20A 10A 15A
portant;"> 散射角度	portant;"> >45	portant;"> >45	portant;"> >45	portant;"> >45	portant;"> >45	portant;"> >45
portant;">可充其他	portant;">Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others
portant;"> 气体流量	portant;"> 1-15sccm	portant;"> 2-25sccm	portant;"> 2-50sccm	portant;"> 2-50sccm	portant;"> 2-75sccm	portant;"> 5-100sccm
portant;"> 高度	portant;"> 2.0“	portant;"> 3.0“	portant;"> 4.0“	portant;"> 4.0“	portant;"> 4.0“	portant;"> 6.0“
portant;"> 直径	portant;"> 2.5“	portant;"> 3.7“	portant;"> 5.7“	portant;"> 5.7“	portant;"> 5.7“	portant;"> 9.7“
portant;"> 水冷	portant;"> 无	portant;"> 可选	portant;"> 可选	portant;"> 可选	portant;"> 是	portant;"> 可选

F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列基本组成

1. 灯丝

2. 阳极模组

3. 主要模组

4. 底座（可调整角度, 高度）