3靶等离子溅射仪技术参数  
输入功率  
110V/220V通用  
<2000W(含真空泵)  
输出功率  
1600VDC  
zui大电流50mA  
样品室  
石英罩：160mmDia.x120mmHeight  
加热样品台  
一个外径50mm的样品台,可以移动三个位置  
基片可以放在样品台上.加热温度500°C  
PID控温方式和触摸屏面板，控温精度+/-10°C  
zui长溅射时间不可超过5分钟  
控制面板  
控制面板为PLC，4.3"触摸屏  
一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度,电流,靶材位置和基片加热温度  
可选  
KF25真空接口、卡箍，和600mm长不锈钢波纹管  
120L/M旋片式真空泵（包含在仪器内）  
不锈钢波纹管与KF-25真空接口相连接  
各种高纯度金属靶  
需要一个带压力调节器的氩气瓶（这个我们不提供）  
进气口  
一个精密可调针阀安装在进气口，以实现方便的调节进气量  
靶材  
标配靶材分别有  
金，银，铜靶材:  
尺寸:金靶47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs  
银靶47 mm dia. x 0.5 mm, 1pcs  
铜靶47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs  
可选靶材点击链接、  
Pt,Agtarget,ZinctarhetD  
外形尺寸  
360mm×350mm×360mm(L×W×H)  
净重:50KG
本产品信息由中美合资合肥科晶材料技术有限公司整理发布，更多关于3靶等离子溅射仪的信息请访问： 
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https://www.chem17.com/st152911/product_19262307.html