伯东氦质谱检漏仪 ASM390 用于不锈钢管检漏_科技资讯_行业资讯

伯东氦质谱检漏仪 ASM390 用于不锈钢管检漏

2021-03-24 10:55 浏览:57

某专门生产半导体配件公司采用移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 对高端不锈钢管, 阀门和歧管等配件进行检漏, 以验收管件是否达标. 其产品漏率值需要达到 10-9mar l/s.

伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱测漏仪 ASM390 技术参数:

portant;"> 型号	portant;"> ASM390
portant;"> 检测气体	portant;"> 4He, 3He, H2
portant;"> 最小检测漏率	portant;"> 真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸*****式: 1X10-8 mbar l/s
portant;"> 对氦气的抽速	portant;"> 10 l/s
portant;"> 前级泵抽速	portant;"> 35 m3/h
portant;"> 进气口最大压力	portant;"> 20 mbar
portant;"> 无校准的启动时间(20°C)	portant;"> 2 min
portant;"> 进气口	portant;"> DN 40 ISO-KF
portant;"> 响应时间	portant;"> < 1 s
portant;"> Interface, 选配	portant;"> RS-232, I/O, Ethernet
portant;"> 噪音	portant;"> ≤ 55 dB (A)
portant;"> 重量	portant;"> 125 kg
portant;"> 尺寸(LxWxH)	portant;"> 1072 x 455 x 1025 mm

待检漏产品:
氦质谱检漏仪半导体配件检漏

半导体配件-不锈钢管检漏方法工作示意图如下：

氦质谱检漏仪半导体配件检漏

移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:

1. 强大的抽空能力

2. 极短的测试时间

3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸

4. 符合人体工学设计, 移动性强

5. 完全符合 Semi S2 标准

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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