氦质谱检漏仪 ASM340 用于流量控制阀 MFC 检漏_热点资讯_行业资讯

氦质谱检漏仪 ASM340 用于流量控制阀 MFC 检漏

2021-03-23 10:50 浏览:43

深圳某半导体设备商共采购 5 台德国普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340, 用于流量控制阀 MFC 检漏.

氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:

portant;"> 型号	portant;"> ASM340	portant;"> ASM340 D	portant;"> ASM340 I
portant;"> 对氦气的最小检检漏率	portant;"> 5E-13 Pa m3/s	portant;"> 5E-13 Pa m3/s	portant;"> 5E-13 Pa m3/s
portant;"> 检测模式	portant;"> 真空模式和吸*****式	portant;"> 真空模式和吸*****式	portant;"> 真空模式和吸*****式
portant;"> 检测气体	portant;"> 4He, 3He, H2	portant;"> 4He, 3He, H2	portant;"> 4He, 3He, H2
portant;"> 启动时间 min	portant;"> 3	portant;"> 3	portant;"> 3
portant;"> 对氦气的抽气速度 l/s	portant;"> 2.5	portant;"> 2.5	portant;"> 2.5
portant;"> 进气口最大压力 hPa	portant;"> 25	portant;"> 25	portant;"> 5
portant;"> 前级泵抽速 m3/h	portant;"> 油泵 15	portant;"> 隔膜泵 3.4	portant;"> 不含前级泵
portant;"> 重量 kg	portant;"> 56	portant;"> 45	portant;"> 32

流量控制阀 MFC 主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制. 流量控制阀 MFC 在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用.

伯东公司客户主要生产流量控制阀 MFC, 由于产品的特殊性, 对密封性要求特别高, 达 5E-11 Pa m3/s, 选用其他氦质谱检漏仪根本达不到实际生产测量要求, 或者生产效率特别低下, 经过实际论证, 最终确定选用伯东公司德国普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340.

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
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