伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪用于半导体设备及材料检漏_展会资讯_行业资讯

伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪用于半导体设备及材料检漏

2021-03-22 11:27 浏览:45

国内某半导体芯片代加工公司采用伯东吸*****氦质谱检漏仪 ASM 102 S用于芯片封装检漏,

吸*****氦质谱检漏仪 ASM 102 S 技术参数：

portant;"> 吸*****便携式氦质谱检漏仪	portant;"> ASM 102 S
portant;"> 对氦气的最小检测漏率	portant;"> 1x10-8 Pa m3/s 7.5x10-8 Torr l/s 1x10-7 mbar l/s
portant;"> 测量范围(氦气)	portant;"> 1·10-7 至 1 mbar l/s
portant;"> 前级泵	portant;"> 无油干式真空泵
portant;"> 检测气体	portant;"> 4He
portant;"> 操作温度	portant;"> 0-45 °C
portant;"> 噪音比	portant;"> < 56 dB (A)
portant;"> 尺寸	portant;"> 494 x 456 x 164 mm
portant;"> 启动时间	portant;"> 1.5 min
portant;"> 检测模式	portant;"> 吸*****检漏
portant;"> 重量	portant;"> 18 kg

吸*****氦质谱检漏仪 ASM 102 S

芯片封装, 一旦出现泄漏, 芯片就会失效, 因此检漏工艺在芯片封装检漏至关重要, 吸*****氦质谱检漏仪 ASM 102 S 的最小检漏率 1x10-8 Pa m3/s 完美胜任该工作.

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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