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镀膜仪
更新时间:2023-03-22 17:18 免费会员
惠州市广顺安新能源科技有限公司
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MSP-IS镀金机镀膜仪是为SEM的样品制备而设计的专用喷金仪,为样品表面喷金属镀层。  
工作原理:  
采用了一个平板控制电极,通过低电压放电进行磁控溅射的喷镀。  
MSP-IS镀金机镀膜仪产品优势:  
●起弧电压低有效减弱样品受到的离子损伤和热损伤。  
●可移动式样品台:工作时,样品温升小,能有效防止由于离子溅射而产生的样品变形。  
●内置真空泵,一体式设计  
●MSP-IS是-一台只要启动“EVAC"按钮,就可以全自动完成喷涂的设备。  
操作方法:  
将样品放入样品室,根据镀层厚度需求设置喷镀时间,按下启动按钮后,从预抽气到喷镀整个过程都将自动进行,喷镀结束后旋转泵自动终止,样品室内充入空气后即可取出样品  
技术参数  
真空系统:抽速20L/min,旋转泵最高可抽到2Pa  
样品室真空度:在溅射时的真空度保持6-8Pa  
靶和样品的距离:标准25mm,也可以调整辅助平台,增大距离至35mm  
样品室尺寸:高65mm,直径120mm,由耐热玻璃制成  
靶材尺寸:直径55mm  
靶材种类:标配金.钯,可选配金、铂、金.钯合金、铂  
样品台:直径50mm。与阳极分离的可移动式样品台  
设备尺寸:长200mmX宽340mmX高350mm。重量:14Kg  
电源:100V单相交流电,最大电流为10A  
更多详情咨询:https://www.chem17.com/st505693/erlist_2317123.html  
https://www.chem17.com/st505693/product_36517561.html

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